|
型号
|
QMX8300 | QMX8300C | QMX8300L | |||
| 相机 | 2000W像素 黑白CMOS | |||||
| 镜头 | 双视野双远心镜头 | |||||
| 照明系统 | 落射 | 组合环形光、远心同轴照明 | ||||
| 透射 | 远心底光 | |||||
| 测量范围(XY) | 广视野 | 不拼图 | 25×25mm | |||
| 拼图 | 300×200mm | |||||
| 高精度 | 不拼图 | 6×6mm | ||||
| 拼图 | 281×181mm | |||||
| 测量范围(Z) | 75mm | |||||
|
测量精度
|
广视野 | 不拼图 | ±2μm | |||
| 拼图 | ±(4.1+0.02L)μm | |||||
| 高精度 | 不拼图 | ±0.7μm | ||||
| 拼图 | ±(2.8+0.02L)μm | |||||
|
静态重复精度
|
广视野
|
不拼图 | ±0.5μm | |||
| 拼图 | ±0.9μm | |||||
| 高精度 | 不拼图 | ±0.1μm | ||||
| 拼图 | ±0.9μm | |||||
| 激光高度测量 | 测量范围(XY) | \ | 200x175mm | \ | ||
| 重复精度 | \ | ±0.6μm | \ | |||
| 测量精度 | \ | ±5μm | \ | |||
| 光点直径 | \ | φ50μm | \ | |||
| 3D线扫测量 | 测量范围(XY) | \ | \ | 275x132mm | ||
| 重复精度 | Z(高度) | \ | \ | ±2.4μm | ||
| Y(宽度) | \ | \ | ±2.8μm | |||
| 测量精度 | Z(高度) | \ | \ | ±7.5μm | ||
| 线宽 | \ | \ | 31.5mm | |||
| 载物台 | XY行程 | 275×175mm | ||||
| 承重 | 约5kg | |||||
| 设备重量 | 约55kg | |||||
QMX8300
QMX8300C
QMX8300L
QMX8300L