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型号
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QM-8100 | QM-8300 | QM-8500 | |||
| 相机 | 2000W像素 黑白CMOS | |||||
| 镜头 | 单视野双远心镜头 | 双视野双远心镜头 | ||||
| 照明系统 | 落射 | 组合环形光、同轴光（选配） | ||||
| 透射 | 远心底光 | |||||
| 测量范围 (XY) |
广视野 | 不拼图 | φ100×80mm | φ100×80mm | 90×60mm | |
| 拼图 | \ | 260×180mm | 500×400mm | |||
| 高精度 | 不拼图 | \ | φ25×20mm | 20×15mm | ||
| 拼图 | \ | 230×130mm | 430×350mm | |||
| 测量范围(Z) | 75mm | 250mm | ||||
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测量精度
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广视野 | 不拼图 | ±3μm | ±3μm | ±3μm | |
| 拼图 | \ | ±(5+0.005L)μm | ±(5+0.005L)μm | |||
| 高精度 | 不拼图 | \ | ±1μm | ±1.5μm | ||
| 拼图 | \ | ±(3+0.005L)μm | ±(3+0.005L)μm | |||
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静态
重复精度 |
广视野
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不拼图 | ±1μm | ±1μm | ±1μm | |
| 拼图 | \ | ±2μm | ±2μm | |||
| 高精度 | 不拼图 | \ | ±0.5μm | ±0.5μm | ||
| 拼图 | \ | ±1.5μm | ±1.5μm | |||
| 载物台 | XY行程 |
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210×130mm | 420×350mm | ||
| 承重 | 约5kg | 约5kg | 约25 kg | |||