光谱共焦位移传感器

采用光谱共焦原理,微米级非接触测量,同轴光路设计,高采样率,兼容镜面、透明、半透明等多种材质,适用于半导体、光学、汽车、3C电子等精密尺寸与厚度等检测。

厚度测量
高度测量
段差测量
平面度测量
位移测量
振动测量
宽度测量
  • 173
    KHz

    最高采样速度

  • ±0.35
    μm

    最高线性度

  • ±60°

    最大可测角度

点光谱-产品大图.webp

产品特性

测量原理

测量原理

光谱共焦位移传感器利用宽谱复色光,经色散镜头产生光谱色散,使不同波长的单色光对应不同测量距离。当光线射至物体表面反射时,仅符合共焦条件的特定波长可通过小孔被光谱仪检测,系统据此波长计算出精确的距离值。

高精度测量各类曲面、凹坑以及高低差目标

  • 对凹坑、段差实现无死角测量

    对凹坑、段差实现无死角测量

  • 测量角度高达±60°,曲面/精细形状也可以稳定精准检测

    测量角度高达±60°,曲面/精细形状也可以稳定精准检测

不易受安装位置影响的超小型探头

  • Ø8的超小轻量型探头-满足小型化生产需求

    Ø8的超小轻量型探头-满足小型化生产需求

  • 间距小探头和大量程-最大基准距离150mm

    间距小探头和大量程-最大基准距离150mm

  • 可并排安装于狭小空间

    可并排安装于狭小空间

适用多种材质,提供稳定精确测量

能够适应包括粗糙表面、黑色橡胶、镜面体、玻璃、凝胶体等检测需求,提供稳定和准确的测量结果。

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  • CD-5000系列控制器

    支持1/2/4路光学单元扩展,集成Ethernet/IP、EtherCAT、RS-485、编码器及多路模拟/数字I/O,DC24V供电,具备工业级防护与低温漂特性,适配多测头同步测量与产线集成。

    CD-5000系列控制器
  • 专用PC软件CD-Navigator

    简单设定易上手,无需专门培训,无需特别的编程技能,简易设置,简单处理多项测量值。

    专用PC软件CD-Navigator

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